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热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR

简要描述:热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR
Nano TR热反射法薄膜导热系数测量仪采用热反射法精确可靠地测定薄膜的热扩散系数,是目前市场上*精确的的薄膜导热测量方法,满足不同样品的测试需求。

  • 产品型号:NanoTR / PicoTR
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2016-08-12
  • 访  问  量:3366

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详细介绍

热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR

测量原理

热反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如热扩散系数(Thermal Diffusivity)、热导率(Thermal Conductivity)、吸热 系数(Thermal Effusivity)和界面热阻。

由于激光闪射时间仅为纳秒(ns)量级,甚至可达到皮秒(ps)量级,此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时,系统提供不同的测量模式,以适应于不同的基片情况(透明/不透明)。

该方法符合标准:
JIS R 1689:通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数;
JIS R 1690:陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。

NanoTR / PicoTR - 技术参数

技术参数NanoTRPicoTR
温度范围RT,RT … 300°C(选件)RT,RT … 500°C(选件)
真空度N/A10-6 mbar(选件)
测量模式RF/FFRF/FF
样品尺寸10x10 ... 20x20 mm10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度RF:
金属:1 ... 20µm
陶瓷:300nm ... 5µm
聚合物:30nm ... 2µm
FF:> 1µm
RF:
金属:100nm ... 900nm
陶瓷:10nm ... 300nm
聚合物:10nm ... 100nm
FF:> 100nm
基片厚度< 1mm< 1mm
热扩散温升时间10ns ... 10µs10ps ... 10ns
热扩散系数0.01…1000 mm2/s0.01…1000 mm2/s
测量精度5%(RF), 10%(FF)5%(RF), 10%(FF)
操作系统Windows 7Windows 7

热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR

 

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