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详细介绍
热反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热 系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。
由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。
该方法符合标准：
JIS R 1689：通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。
| 技术参数 | NanoTR | PicoTR |
| 温度范围 | RT，RT … 300°C（选件） | RT，RT … 500°C（选件） |
| 真空度 | N/A | 10-6 mbar（选件） |
| 测量模式 | RF/FF | RF/FF |
| 样品尺寸 | 10x10 ... 20x20 mm | 10x10 ... 20x20 mm |
| 薄膜厚度 | RF： 金属：1 ... 20µm 陶瓷：300nm ... 5µm 聚合物：30nm ... 2µm FF：> 1µm | RF： 金属：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm |
| 基片厚度 | < 1mm | < 1mm |
| 热扩散温升时间 | 10ns ... 10µs | 10ps ... 10ns |
| 热扩散系数 | 0.01…1000 mm2/s | 0.01…1000 mm2/s |
| 测量精度 | 5%(RF), 10%(FF) | 5%(RF), 10%(FF) |
| 操作系统 | Windows 7 | Windows 7 |
热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR
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